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ARP-6000

  • Reticle Pod 안에 있는 Photo Mask를 전용 운반 박스에
    자동으로 포장하는 기능을 한다.
  • Chamber안에 오염 방지를 위해 N2 또는 CDA를 항상
    가압한다.
  • 적용 Pod : Single Pod.(RSP-150 / RSP-200)

SPECIFICATION

Dimension (mm)

1940 (W) x 1450 (D) x 1990 (H)

Weight (kg)

Approximately 400 kg

Remarks

- Single Pod Run

- Individual Case Run

- N2(or CDA) pressurizing in a chamber

- Auto Taping & Sealing

- Barcode Reading

Control System

- PLC & Touch Screen

Utility

- Power : 1Phase AC200~220V, 50/60Hz

- CDA(or N2) : ¼” (0.5~0.7 Mpa)
- Exhaust : Φ100 mm ( >300 Pa)