Pellicle Mounter

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MPM-6000

※ MPM-6000 / MPM-6000M


  • 在半导体Wafer用 Photo Mask上,自动紧密胶合 Pellicle。
  • 利用调整Pellicle Shift的设备,调整Pellicle Shift。
  • 手动Loading/Unloading Photo Mask 及 Pellicle。
    (Semi Automation)
  • 可对应各种大小 Pellicle。
    → Photo Mask Size。(5″,6″,7″,9" 等)
  • 均等传达并显示Pellicle Mounting压力。

SPECIFICATION

Dimension (mm)

- MPM-6000    : 770 (W) x 350 (D) x 560 (H)

- MPM-6000M : 770 (W) x 450 (D) x 681 (H)

Weight (kg)

- MPM-6000    : Approximately 50 kg

- MPM-6000M : Approximately 65 kg

Pellicle Shift

- 6025 Type : 200 ㎛

- 5"~9" Multi Type : 500 ㎛

Pellicle Rotation

- 6025 Type : 100 ㎛

- 5"~9" Multi Type : 150 ㎛

Mounting Pressure1~30 kg
Mounting Time1~9999 sec

Mounting MethodControl Mounting Pressure & Position & Speed
Equipment Condition

- Mask & Pellicle Manual Loading
- Edit Recipe & Process Log Save

- PLC Control
- Touch Screen & Switch Operation (HMI)

- 5",6",7" & 9" Photo Mask
- Equipment Safety : CE or S2, S8 Certification

Option

- PC

- Barcode Reading System  

Utility - Power : 1Phase AC200~220V, 50/60Hz
- Exhaust : Φ60 mm ( >100 Pa)